純粋洗浄＆リンス装置
MD（ミニディスク）製造工程におけるディスクの洗浄と乾燥を行うシステム。
目に見えない、ミクロのホコリも許されないクリーンルーム内でも円滑で正確な省力化が実現します。
オートローダ＆アンローダ付。

超精密フィルムラッピングマシン
クリーンルーム内でのHD（ハードディスク）製造工程における、ラッピング（研磨）マシンです。
クリーニングテープと洗浄装置も搭載し、多くの素材に対応。
高精度の超精密研磨が要求される場面でも安定した作業が行えます。

ローダ＆アンローダ付露光装置
クリーンルーム内におけるPCB（プリントサーキットボード）製造の露光（焼付）装置。
ナノテクノロジー時代の現在、クリーンルームにおいては、より精密で純度の高い露光と計測評価が求められています。